?9?????13???????? (??????????? ??????????)???,???????????????????????,??????????????????????????????“???????????????”,??,??????????????????????????????,???

??,?????(???),????????????????????,??????????????????????????????????,?????

????????????????????,???????????????32nm??????????????,????10%??????????????????????????????????,??,??????????????????????????????,??????????????????????????

???????,??(<1nm)????????????????,????????(633nm)?5nm????????????,???????????7nm?22nm?45nm????????,?????????????????????????????????????????0.32nm~1.3nm,????????????????????,?????????????(?????????????) ??????????????????????????????????:????????????????????? “?????????”_????

?? ????????????????????????????

????:1??????????:?????

2?????????

3??????????

4?2020???????????

5????????92

?9?????13???????? (??????????? ??????????)???,???????????????????????,??????????????????????????????“???????????????”,??,??????????????????????????????,???

??,?????(???),????????????????????,??????????????????????????????????,?????

????????????????????,???????????????32nm??????????????,????10%??????????????????????????????????,??,??????????????????????????????,??????????????????????????

???????,??(<1nm)????????????????,????????(633nm)?5nm????????????,???????????7nm?22nm?45nm????????,?????????????????????????????????????????0.32nm~1.3nm,????????????????????,?????????????(?????????????) ??????????????????????????????????:?????????????????????