?? ????????????????????????????
????:1?????????????:??????????
2????????????
3?????
4?????
5??????
??????????????????????9???????????13? (?? ??)????????????????????,???????,????????“???????????????”,???????????????????????????,?????????????????????????,???
?????????????????????????????????,??????????????(?????),?????,???????????????????????????????????????????????,?????
????????????,???????????????????????32nm????????????????????,????????10%??????????????,??????????????????????????????,??????????????????????,?????????????????????
????????????????,?????????????????????????????????????????(<1nm)???????????,?????????????????(633nm)????????????5nm??,???????????7nm?22nm?45nm???,????????????????????0.32nm~1.3nm,?,???(???????????????) ?????:???